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如何保證微型真空燒結(jié)爐實(shí)現(xiàn)高真空度?

更新時(shí)間:2022-06-17  |  點(diǎn)擊率:1028
  保證微型真空燒結(jié)爐實(shí)現(xiàn)高真空度的措施有兩點(diǎn),極限真空度和最大漏率極限。這兩點(diǎn)是真空設(shè)備的兩項(xiàng)重要指標(biāo),也是熱壓燒結(jié)爐正常運(yùn)行的基本條件。影響最大漏率的因素有爐體的制造精度、爐體材料、密封材料、絕緣材料等。所以,應(yīng)選擇漏率極低的材料作為主導(dǎo)材料,選擇密封性好的閥門,抽氣效率高的真空泵等。
 
  微型真空燒結(jié)爐總放氣率系指材料的放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)、焊縫夾層內(nèi)氣體的滲透,以及真空系統(tǒng)中工作介質(zhì)的逆流和逆擴(kuò)散等放氣的總和。其中材料的放氣率是影響真空度的最大因素。該爐中的材料包括:發(fā)熱元件、保溫材料、密封件、模具、制品的原材料等。就放氣率而言,在這些材料中保溫材料所占比重最大。在該爐中選擇金屬鉬片和石墨氈作為保溫材料,在高溫中放氣率極低。密封件材料選擇硅橡膠。
 
  目前常用的發(fā)熱元件材料一般為鉬、鎢和石墨等。這幾種發(fā)熱材料必須在較高的真空度和有保護(hù)性氣氛的條件下才能正常工作。隨著爐內(nèi)溫度的升高,爐內(nèi)各種材料如發(fā)熱體、保溫材料、模具、被制備的原材料等有一個(gè)去氣和蒸發(fā)的過程,使真空度下降,影響發(fā)熱元件的壽命。所以,一般采用抗氧化的高純石墨制作發(fā)熱元件。
 
  微型真空燒結(jié)爐被制備的材料要獲得一定的壓合成型力,外來的機(jī)械力要通過密閉的爐體,首先要考慮的是機(jī)械動(dòng)密封問題。這種機(jī)械動(dòng)密封裝置必須滿足兩個(gè)條件:正壓、負(fù)壓時(shí)均能維持極限真空。
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